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硅太阳能电池生产线废水处理及回用工艺

1、概述
尽管太阳能是绿色能源,且太阳能电池厂排放的污染物,与石油、煤炭行业相比,对环境的污染要少很多。但由于目前国内太阳能产业技术落后、政策不完善等原因,电池生产过程在国内仍存在较严重的污染。对电池生产的废水污染的控制是一个不可回避的现实问题。
2、硅太阳能电池的生产废水浓度和性质分析

硅太阳能电池生产中在腐蚀清洗、去磷硅玻璃和石英管清洗等工艺过程中须使用KOH、IPA、铬酸、HF、HCl、H2SO4等化学药品,相应的产生含IPA浓废液废水和含氟废液废水、含铬废水。硅太阳能电池的主要生产工序如下:
清洗:清洗的主要目的是去除硅片上的污物。
制绒:硅晶太阳能电池的制绒工艺是加入铬酸或HNO3、HF、H2SO4的强氧化性溶液将切割后硅片上的污物清除,在硅片上形成减反织构。
扩散:磷扩散是在硅片表层掺入纯杂质原子的过程。
刻蚀、去PSG:利用HF溶液对硅片边缘进行腐蚀,去除硅片边缘的PN结。
去PSG是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸等清洗的方法进行清除。具体参见更多相关技术文档。
等离子化学气相沉积(PECVD):PECVD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料。
丝网印刷:是通过丝网印刷机将银浆或铝浆等导电材料印刷在硅片上。

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